愛發科真空泵油的工作原理說明

發布時間:2020-12-21 15:26:47 閱讀1次 違規舉報
愛發科真空泵油的工作原理說明

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無油干式機械愛發科真空泵油(又簡稱干式機械泵)是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內無油或其他工作介質,而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。

目前,真空行業使用的大多數機械真空泵都是用愛發科真空泵油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質,在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大,原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題:一是泵的工作介質返流污染被抽容器;其次,由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質,使泵不能正常工作。

對于普通的無油真空系統愛發科真空泵油來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵,則可以達到理想的使用效果。

愛發科真空泵油的應用是廣泛的,主要有以下幾個方面:

1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;

2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;

3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;

4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;

5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。
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關鍵詞: 愛發科真空泵
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